היתרונות של ריסוס אולטרה סאונד

בהשוואה לריסוס דו-נוזלי מסורתי, לריסוס קולי יתרונות של אחידות ציפוי גבוהה, ניצול חומרי גלם גבוהים, דיוק בקרת עובי ציפוי גבוה, עובי ציפוי דק יותר, פחות התזה, ללא סתימת חרירים ועלויות תחזוקה נמוכות. בהשוואה לאידוי ואקום, CVD ותהליכי ציפוי אחרים, ריסוס אולטרסאונד הוא תהליך ציפוי סרט דק יותר חסכוני, במיוחד להכנת סרטים גדולים יותר. העלות של ציוד ריסוס קולי נמוכה בהרבה מזו של ציוד ציפוי ואקום. הבה נציג בקצרה את היתרונות העיקריים הללו של ריסוס קולי.

אחידות ציפוי גבוהה

האחידות של חלוקת החלקיקים הנוזליים לאחר האטומיזציה על ידי הזרבובית האולטראסונית גבוהה משמעותית מזו של הזרבובית דו-נוזלית, המכונה גם אקדח ריסוס האוויר, כך שגם אחידות הציפוי לאחר ריסוס הזרבובית הקולי משתפרת משמעותית. באופן כללי, האחידות של ציפוי ריסוס קולי יכולה להגיע ליותר מ 95%.

2. שימוש בחומרי גלם גבוהים ופחות התזה

מכיוון שריסוס אולטרסאונד הוא אטומיזציה נוזלית על ידי רטט אולטרסאונד, הציפוי אינו מנוזל בתהליך האטומיזציה, כלומר תהליך האטומיזציה אינו דורש לחץ ורק לחץ גז נשא נמוך מאוד מוחל לאחר האטומיזציה כדי להעביר את הערפל הנוזלי. זה מפחית מאוד את הקפיצה וההתיז הנוזלים הנגרמים על ידי אוויר בלחץ גבוה שמרוסס על ידי שני נוזלים, ובכך משפר מאוד את קצב הניצול של הציפוי. שיעור ניצול חומרי הגלם של ריסוס קולי הוא יותר מפי 4 מזה של ריסוס אוויר רגיל ושיעור הניצול יכול להגיע ליותר מ 90%.

3. דיוק בקרת עובי ציפוי גבוה

הגורם העיקרי המשפיע על דיוק עובי הציפוי הוא קצב זרימת הריסוס של הציפוי, כלומר כמות החומר המובלת על המצע ליחידת זמן. לראש הריסוס הקולי אין לחץ על הנוזל, ולכן הוא יכול לשלוט לחלוטין בזרימת הנוזל של ציפוי הריסוס האטומי באמצעות משאבת מדידה ברמת דיוק גבוהה, ובכך להשיג בקרת זרימת ריסוס ברמת דיוק גבוהה. כגון משאבת מזרק ברמת דיוק גבוהה, דיוק בקרת הזרימה שלה יכול להגיע לרמת פיקוליטרים לשנייה, ועיצוב המיקרו-ערוץ של הזרבובית הקולי יכול גם להשיג את דיוק הבקרה הכללי של ננו-ליטרים לשנייה.

4. עובי ציפוי דק יכול להגיע לעשרות ננומטר

מכיוון שנפח הריסוס של ראש הריסוס הקולי יכול להשיג קצב זרימה יציב מאוד נמוך (0.001 מ"ל / דקה), הוא יכול להשיג כמות העלאה קטנה מאוד על המצע, ובכך להשיג סרט יבש דק מאוד. עבור חומרי ננו מסוימים, עובי הסרט היבש יכול להיות נמוך בעשרות ננומטר. ניתן להשתמש בה להכנת סרטים דקים מזכוכית כגון סרט מוליך שקוף, סרט נגד השתקפות, סרט מגן חום וסרט הידרופובי.

5. ללא סתימת חרירים ועלות תחזוקה נמוכה

מכיוון שהזרבוב הקולי הוא נוזל המופץ על ידי תנודה אולטרסאונד, והחלקיקים האטומי נקבעים על ידי תדר התנודה הקולי, הוא שונה מזרבובית שתי הנוזלים. קוטר הזרבובית לא צריך להיות קטן מאוד כדי להשיג חלקיקים אטומים עדינים, ולכן הוא מקטין את הסיכון לסתימת הזרבובית.